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NNS-Z250-01 Z軸納米定位平臺
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產(chǎn)品編號
所屬分類
一維納米臺
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產(chǎn)品描述
產(chǎn)品規(guī)格
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NNS-Z250-01 Z軸納米定位平臺
NNS-Z250-01是一款Z軸方向的運(yùn)動臺，閉環(huán)行程250μm，閉環(huán)分辨率0.6nm?？筛鼡Q不同的物鏡接口，用于物鏡調(diào)焦及掃描。
典型應(yīng)用
• 顯微成像
• 物鏡調(diào)焦及掃描
• 晶圓切割
• 高精度自動對焦
• 微電子精密加工
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NNS-Z400-02 Z軸物鏡定位平臺
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